二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758442 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 from TEL是一款最先進的蝕刻器/asher工具。它是一種高度自動化的設備，設計用於生產各種高精度的工藝，甚至在晶圓表面上也是如此。這使得它非常適合先進的光子學和MEMS制造。TEL TE 8500利用一個完全集成的環境來開發四種增強的基板粘附,因此改進了叠加可重復性和多步處理。這款蝕刻器/asher還集成了先進的負載鎖定系統，能夠處理各種晶圓尺寸，從標準應用到大規模應用。TOKYO ELECTRON TE 8500融合了Stealth-Technology等技術，提供了低調的機器人和最小化的底物載荷錯誤率。它還集成了高低溫晶圓轉移和超精密溫度控制，以實現可靠的蝕刻。該工具能夠將高精度的脈沖蝕刻時間管理到高達十個了。該工具提供基於密度反饋控制的連續蝕刻改進周期。TE 8500提供超精確的連續腔室清潔性能，配備慣性模塊，還提供洗滌器和德加特性。它具有為各種應用識別晶圓圖的三維能力，以及冗余晶圓位置檢測和處理單元。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500通過使用專有的氣體提取機和一系列允許配方編輯和執行的用戶界面,提供了出色的重復性和穩定性。配備特定的集成硬件和離子束技術，TEL TE 8500還提供了寬廣的工藝窗口和納米級的高精度分辨率。這種專門的蝕刻器/asher工具是生產與半導體制造相關的各種復雜工藝的絕佳選擇。它非常精確,可為各種制造應用程序提供可重復性和穩定性,並且能夠處理標準和大型項目。TOKYO ELECTRON TE 8500對高精度自動化技術的運用使其成為最苛刻應用的絕佳選擇。