二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758444 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款設計用於電子器件制造和AIXTRON生產的高性能蝕刻器/asher。TEL TE 8500利用化學氣相沈積（CVD）工藝對基板進行蝕刻/灰化，創造出堅固可靠的特點，具有卓越的精度和可重復性。該模型具有高效的熱傳遞系統,可同時選擇空氣和氮氣冷卻以減少加工時間,以及為最大吞吐量和高效樣品處理而設計的基板支架。TOKYO ELECTRON TE 8500配備了自動化的基板處理系統以及多種溫度和流量傳感器，允許用戶在提供卓越溫度和氣體控制的同時定制其蝕刻/灰化工藝。此外,TE 8500可通過其板載計算機系統輕松配置,以高效監控和控制流程。集成在TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500中的是一個可編程邏輯控制器（PLC），它提供了最高水平的精度和控制。此PLC用於與包括基板支架、工藝室和腔室組件在內的各種組件進行接口,允許用戶根據自己的確切需求自定義其蝕刻/灰化過程。這還可以實現自動基板旋轉和腔室溫度控制等功能,從而最大程度地控制蝕刻/灰化過程。TEL TE 8500具有直觀的觸摸屏界面,可提供用戶友好的體驗。該界面允許用戶快速選擇流程配方,以易於閱讀的格式查看運行時統計信息,以及訪問詳細的流程數據以供查看。此外,該型號還配備了自動腔室清洗功能,可在整個蝕刻/灰化過程中提供一致的性能。綜上所述，TOKYO ELECTRON TE 8500是一款功能強大、靈活的蝕刻器/asher，設計用於電子器件制造和AIXTRON生產。該型號提供卓越的可重復性和準確性,改進的熱傳遞系統,可定制的基板處理,以及直觀的觸摸屏界面,可輕松選擇和監控工藝配方。通過基於PLC的控制,TE 8500提供了對蝕刻/灰化過程的最大精度和控制。