二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293764225 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款精密的蝕刻器/asher，設計用於半導體及相關行業的精密蝕刻、沈積和摻雜工藝。該設備是建立在一個強大的DE平臺-定向能源-提供可靠和可重復的過程結果。它提供了高度的設備穩定性、過程控制和產量。TEL TE 8500專為提高效率和靈活性而設計。它的多工具設計允許在眾多配置中實現高吞吐量和極高的準確性。其多檢流計設計提供了改進的光束偏轉精度,這對於精密蝕刻或灰化應用至關重要。先進的自動基板定位系統可以精確地接觸到最復雜的設備輪廓。TOKYO ELECTRON TE 8500配備了實時流程監控單元，可幫助檢測和準確診斷流程缺陷，從而消除缺陷並提高產量。其啟用Web的軟件計算機可隨時隨地訪問關鍵流程信息。TE 8500專為廣泛的應用而設計。例如，它可以用於MEMS、半導體、光電和納米技術結構的蝕刻或灰化。也可用於蝕刻TSV（通過矽vias）結構或灰化3D結構。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500提供跨應用程序的可靠性和重復性。其先進的過程控制算法、嚴格的過程參數和快速傾斜有助於保持過程一致性並提供可靠的結果。快速的濕前和濕後能力有助於提高工藝穩定性。TEL TE 8500使用方便，可快速設置操作。其直觀的觸摸屏用戶界面易於理解和使用。強大的流程向導可輕松設置、自定義和優化流程。該工具還提供多種安全功能以確保操作員的安全，如電子聯鎖、緊急停止按鈕等。綜上所述,TOKYO ELECTRON TE 8500是一款先進、用戶友好的蝕刻器/asher,專為在眾多應用程序中實現高吞吐量和精確的工藝結果而設計。它的高級流程控制和監視功能有助於確保可靠和可重復的流程,直觀的用戶界面有助於確保易用性。