二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293811575 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款高精度、功能齊全的蝕刻器/asher，設計用於快速準確地蝕刻和灰分基材。這臺機器具有令人印象深刻的一系列功能,包括集成的靜電卡盤支持、先進的過程控制功能、高精度的等離子體源以及可靠的蝕刻/灰化過程。TEL TE 8500靜電卡盤（ESC）提供精確、可調、精確的真空保持，在加工過程中固定基板。Esc也是mmHg-air-prove，以確保基板清潔，且ESC與基板材料的相容性是精確設置的。此外，ESC可以用蓋子蓋住，以保持清潔，減少空氣和排放的任何幹擾。TOKYO ELECTRON TE 8500先進的工藝控制能力使機器能夠精確調節蝕刻和灰燼設置,從而優化所有類型材料的性能。通過使用基於軟件的高級控制系統和參數,此蝕刻器/asher可以輕松快速地調整設置以獲得最佳蝕刻/灰分結果。所包括的流程控制系統還監測和記錄所有流程，使操作員能夠在需要時快速訪問數據。TE 8500還包括一個高精度的等離子體源，以實現精確的蝕刻和灰分設置和結果。與集成磁性線圈結合使用，等離子體源允許對等離子體的電離以及如何用於實現蝕刻和灰燼設置進行非常精確的控制。此外，限制性關閉可以防止意外反應，同時保持等離子體場形狀。最後,TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500提供了可靠的蝕刻/灰化工藝,具有高效、高精度的結果。內置電氣控制系統為蝕刻和灰燼操作提供了可重復的性能,等離子體場的卓越均勻性有助於確保蝕刻/灰燼精度。TEL TE 8500還對許多類型的難以蝕刻和難以灰分的材料采用特殊的蝕刻/灰分程序。綜上所述，TOKYO ELECTRON TE 8500是一款先進的、功能齊全的蝕刻器/asher，提供精確高效的蝕刻/ashing功能。該機具有集成的靜電卡盤支持、先進的工藝控制能力、高精度的等離子體源和可靠的蝕刻/灰化工藝,是實現卓越蝕刻和灰分效果的理想選擇。