二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9059245 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款為大型半導體制造工藝而設計的先進蝕刻/asher設備。它能夠在晶圓和單個模具尺寸上蝕刻或粉刷樣品，具有很高的吞吐量和準確性。該系統集成了先進的基板支架設計以及高效的腔室加熱單元，允許在整個蝕刻過程中進行精確的溫度控制。該機器支持各種蝕刻化學以及專門設計的等離子體，以改進表面活化和清潔。TEL TE 8500配有高分辨率、激光幹涉法為基礎的晶圓剖面分析工具，允許納米尺度的圖樣控制。它的主室允許在高達200毫米的晶圓上具有極好的蝕刻均勻性，具有最小的晶圓平坦度和顆粒缺陷。該工具的晶片的自動化供應，加上清潔的下降設置和先進的排氣系統，防止汙染蝕刻產品。TOKYO ELECTRON TE 8500還提供對蝕刻過程的精確監控，具有飛行時間質譜和離子通量計等綜合過程控制功能。它是一種真正通用的蝕刻資產,為原型制造和生產制造提供支持。