二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9068919 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款為高精度材料去除而設計的蝕刻器/asher。用於去除基板上的薄膜，包括金屬、氧化物、氮化物和III-V材料，精度和精度都很高。這是通過其超精密加工能力實現的，其工藝控制基於一個了解晶片級運動和蝕刻元件的閉環設備。TEL TE 8500還具有處理各種材料的功能,每種材料類型都有多種蝕刻配方。它還配備了一個空氣淋浴，用於減少來自系統外部的汙染水平。TOKYO ELECTRON TE 8500包含全自動供應、載荷和卸載能力。利用這一高度先進的功能，該單元將優化裝卸，而無需操作員參與。該蝕刻器/灰化器采用雙源質量流控制器，可控制精細和粗糙控制的蝕刻過程。這提供了卓越的精確度和長期的穩定性與最小的維護。該機器還包括一個高級配方管理器，它有助於配方控制和數據管理。此外，TE 8500提供了一個靈活的真空工具與先進的互鎖網絡和噴嘴真空資產。這允許根據所使用的蝕刻過程調整壓力和流量。聯鎖網絡設計有一個安全模型，當發生任何意外事件時將關閉機器。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款高精度、高效率的蝕刻器/asher,具有許多功能,使設備能夠處理多種蝕刻過程。該系統配備了所有必要的安全系統，並具有先進的自動化能力，使其非常適合生產應用。該裝置耐用可靠，是精密蝕刻工藝的理想選擇。