二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9144928 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款先進的蝕刻器/asher設備,利用等離子體和化學蝕刻工藝從半導體晶片表面蝕刻和去除材料,以創造極小的結構,細節極為精細。該系統旨在實現對晶圓表面質量影響最小、操作效率最高的高精度蝕刻工藝。TEL TE 8500由單源可變質量反應物(VMR)單元提供動力,該單元使用多種氣體組合物在晶圓上蝕刻不同的材料。它可以在高溫和低溫下運行,允許敏感材料和薄基板的蝕刻,以及處理具有大通量的寬幅晶片。這臺機器還配備了先進的基板安裝技術,以確保完美的對準和精確的蝕刻工藝。TOKYO ELECTRON TE 8500配備了潛在的傳感器,可以準確、連續地測量工藝參數,而晶圓重定向工具則將晶圓保持在所需的精確位置,以確保精確的蝕刻處理。該資產還配備了先進的集成反應室,用於高速蝕刻工藝,汙染水平最低,可重復性最大。TE 8500由功能強大的PLC控制,提供完整的流程自動化。它還有一個集成的工具管理軟件模塊來檢測模型的任何可能的故障。為確保工藝的最大效率,TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500配備了先進的高級數據處理模塊。總體而言,TEL TE 8500是一款最先進的蝕刻器/asher設備,可在最小的結構中提供精確的蝕刻工藝,並以最快的速度提供最佳的表面質量。它確保了最高的工作效率和可靠性,使其成為任何半導體制造生產線的完美解決方案。
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