二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9192932 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款最先進的等離子體蝕刻設備，旨在為晶圓級生產提供精確準確的蝕刻結果。這種等離子體蝕刻器具有多個腔室，先進的過程控制和自動化界面，便於設置和遠程控制，以及固體環式電動機驅動晶片級。該系統為過程控制提供了極好的靈活性,支持單晶片和多晶片處理。該模型具有線性和徑向蝕刻單元，帶有4面氮化硼塗層腔室，提供卓越的導熱性能和均勻性。電動晶片級可同時對多達14個晶片進行均勻蝕刻。實時監測和分析了氣體流量和卡盤功率等可控工藝參數，以確保精確的蝕刻環境和最佳的蝕刻效果。該機還可以配備特殊功能，如可調節蝕刻速率和最大寬度檢測。TEL TE 8500為用戶提供了多種蝕刻選項,包括濕、幹、烷基、自由基、氟、氯和硼。壓力、溫度、物種濃度、氣體流速和蝕刻速率等過程緊急情況可以調整，以達到最佳蝕刻效果。該工具還利用溫度控制的基板卡盤來防止晶片過熱。配備了最新的工藝控制和監控功能，TOKYO ELECTRON TE 8500提供了最大的蝕刻精度和重復性。手動流程設置可以存儲和召回,從而簡化設置過程。此外，該資產的設計符合最新的行業法規和安全準則。TE 8500是晶圓級生產的強大等離子蝕刻工具。其先進的特點保證了出色的蝕刻效果、均勻性和精確的工藝控制。具有溫度控制、種類濃度、氣體流速和晶圓級運動控制等最先進的特點，是大容量、面向生產應用的理想蝕刻解決方案。