二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9195649 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是為最苛刻的應用而設計的全自動、高通量蝕刻/asher設備。提供精確的過程控制和快速響應,蝕刻器/asher可滿足要求最苛刻的客戶的嚴格需求。TEL TE 8500是由一個具有三個溫度區、一個隔離閥、一個排氣口和一個三級熱濾清器的腔體構成的,以確保安全和符合環境要求。該腔室由不銹鋼加工而成，具有大的正面開口，允許樣品的最大吞吐量。雙工泵在控制氯離子和氟離子的同時提供工藝靈敏度。該腔室裝有靜電卡盤，能夠處理各種基板。TOKYO ELECTRON TE 8500具有觸摸屏界面,可用於可編程配方和數據存儲。該系統支持效率最高、精度最高的可重復蝕刻操作。有幾種標準操作模式,包括手動、專家蝕刻和多蝕刻,每種模式都提供不同級別的控制。例如，Multi-Etch模式可以提供對蝕刻參數的獨立控制，可以用蝕刻時間、溫度和氣體成分的變化來編程。TE 8500配備了多種可選配件，如上下溫傳感器、臭氧洗滌器、離子清潔室、遠程監控單元等。此外，蝕刻室還具有一個雙窗格視圖端口，可以觀察蝕刻或灰化過程的內部。該視圖端口還支持波長色散X射線光譜的在線和離線分析。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 蝕刻器/asher設計用於在多種應用中提供可靠、可重現的成果，包括薄膜稀釋劑和塗層的生產、晶圓和半導體制造以及光刻。機器提供了對蝕刻和灰化參數的精確控制，允許重復的結果，很少或沒有維護。