二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9204238 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款為半導體制造應用而設計的蝕刻器/asher。TEL TE 8500是一款先進的蝕刻/灰燼設備,提供卓越的性能和可靠性。它既可用於高精度應用,也可用於高生產率應用。該系統能夠達到良好的均勻性、速度和準確性水平。該機組配備了ae 13 nm高分辨率氙離子束源，提供精確的蝕刻和灰分工藝。該源具有廣泛的能譜範圍，對工藝參數提供了良好的控制。該機還包括高壓化學氣相沈積（HPCVD）和反應性離子蝕刻（RIE）能力。這樣可以在不犧牲吞吐量的情況下精確控制蝕刻/灰分過程。TOKYO ELECTRON TE 8500還提供了靈活的硬件配置。該工具最多可配置兩個蝕刻/灰化室、過程控制單元和監視器。這允許用戶根據特定的生產需求輕松定制資產。該型號還包括用於設備與用戶處理線路之間通信的高速I/O協議。在過程控制方面，系統提供了蝕刻/灰分配置文件、眾多過程步驟、多過程配方和警報等功能。該單元還提供自動晶圓對準和基板跟蹤。此外,該機器還支持通過集成的Web瀏覽器進行遠程進程監視。在安全方面，該工具符合CE、ESD、健康安全法規等多項行業安全標準。通過準確的診斷和直接的模型控制,資產也易於使用和維護。總體而言,TE 8500 蝕刻器/asher是一款可靠高效的設備,具有高性能和高精度。它用於半導體制造應用,提供精確的蝕刻/灰化、帶有警報的自動化過程控制、晶圓對準和跟蹤功能以及主動安全措施。該系統高度可定制,易於使用,是許多工業設施的理想解決方案。