二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9290495 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一款Etcher/Asher，專為先進的蝕刻和灰化工藝而設計。此設備對於IC制造過程（例如設備制造或維護高質量產品）至關重要。該系統具有廣泛的特點和能力，以確保半導體晶圓的精確和精確的蝕刻和灰化。該裝置有高溫精密石英管和先進的磁鏡機（MMS），以確保精密晶圓處理。該工具利用先進的石英管設計和高質量的MMS光學器件，提供快速、可重復的蝕刻。該資產還可以處理範圍廣泛的晶圓尺寸（76.2mm至300 mm）。這是實現過程靈活性和高吞吐量的理想選擇。此外,該型號還配備了LED發射監視器,可連續監控過程以確保精確蝕刻。此顯示器可提供高達40%的流程控制。它還具有精密的背面晶片溫度控制設備和低溫傳感器，這是設備晶片高質量處理所必需的。該系統與控制面板和用戶友好的圖形用戶界面集成在一起，便於操作。此面板提供了一種簡單直觀的方式來控制和監視設備操作。此外，還有提供任何進程問題預警的先進警報系統。此外，該機擁有一項獲得專利的原位清洗技術，非常適合使用無HMDS材料和應用。該工具還配備了先進的回流管理功能，以確保均勻的晶圓溫度，從而提高質量。最後,TEL TE 8500是IC制造過程中必不可少的蝕刻器/粉碎器.該資產具備高溫精密石英管、先進磁鏡模型（MMS）、LED發射監測器、精密背面晶圓溫度控制設備、人性化控制面板、專利原位清洗技術等多種功能。所有這些特性使得該系統成為蝕刻和灰化工藝的絕佳選擇。