二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9394809 待售
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單擊可縮放
ID: 9394809
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Oxide etcher, 8"
Chuck type: ESC
RF Generator
ENT Shuttle
Aligner
ISO Module
Cable harness
No chillers
(2) Indexers:
881-621550-3 Control board
UDX5107 5-Phase driver
Handler arm:
BC10CA52CACDN AC Servo motor: 3000 rpm, 10 W
881-621560-2 Int conn board
893-020880-2 Control board
Prealignment:
(2) VEXTA PX244M-01A-C4 Stepping motors, 4 V, 1.2 A
808-621570-2 PA Control board
Load lock:
FGL11-X7 CKD Leak valve: 12 V, 8 W, 3.5-5 kg/cm²
Orifice: 2.2
(2) External motor driver: DBAP10CA52CS536 AC Servo driver
(2) Rotor motor driver: DBCP10CA52CDB AC Servo driver
(2) Load lock motor: BC10CA52CACDN AC Servo driver
(2) Board: 1881-022047-11 Vacuum control board
(3) C-2-FA-50-60-R3 Load lock cylinders
C-2-50-60-R Load lock cylinder
VAC Card rack:
Manostar switch: MS61L Differnetial pressure switch, 2-22 mmHg
E5AX-AH01 Temperature controller: 100-240 VAC, 15 VA, 50/60 Hz
808-62150-1 Gas I/F Board
Gas boxes:
Valve / Model / Gas / Flow rate
Pressure switch / FC-980C / - / -
MFC / FC-980C / N2 / 2 SLM
MFC / FC-980C / O2 / 100 SCCM
MFC / FC-980C / HE / 1 SLM
MFC / FC-980C / AR / 2 SLM
MFC / FC-980C / CF4 / 100 SCCM
MFC / FC-980C / CHF3 / 100 SCCM
MFC / FC-980C / HE / 20 SCCM
Regulator / SQ140-50-3P / - / -
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是一種蝕刻器（或asher），用於矽製造過程中，有選擇地從基板上移除材料。這是通過使底物暴露於反應性等離子體或經過改造以改變材料表面特性的化合物中來實現的。TEL TE 8500能夠使用多種蝕刻技術執行標準蝕刻應用,包括等離子體蝕刻、反應性離子蝕刻（RIE）以及兩者的組合。TOKYO ELECTRON TE 8500先進的晶圓對準設備提供了跨多個基板的出色模式維護，其工藝控制器實現了下遊工藝優化。TE 8500有多個根據流程需要使用的吊艙。每個吊艙包含多個電子回旋共振（ECR）蝕刻源，產生所需的等離子體。腔室可以配置不同的ECR源和操作參數，從而為用戶提供廣泛的工藝選項。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500還具有多個反應性離子蝕刻（RIE）的來源。RIE源使用戶能夠根據應用程序的確切需求定制蝕刻,從而提高了蝕刻選擇性和可控性,並提高了出色的吞吐量。TEL TE 8500具有內置的流程監控系統,可幫助用戶測量和分析蝕刻處理。該單元允許實時流程優化，其中流程變量可以快速、精確地進行調整，以最大限度地提高產量和吞吐量。TOKYO ELECTRON TE 8500還有一臺數字視頻監視機，在蝕刻過程中提供了無與倫比的精度和可重復性。視頻監視器確保所有批次的晶片都經歷了相同的蝕刻條件，消除了批次間的可變性，提高了結果的可重復性。TE 8500是一種有效、準確的半導體蝕刻應用解決方案。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500結合了先進的自動化和適應性強的工藝參數，是矽制造工藝的寶貴工具。
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