二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9402436 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500是為半導體器件生產而設計的高性能蝕刻器/asher。此工具可在高速和低成本下提供非常精確的結果。TEL TE 8500集成了多種工藝流程,具有精細或純蝕刻功能,可實現高達0.25 μ m的小圖案的高精度蝕刻。TOKYO ELECTRON TE 8500還具有強大的薄膜沈積能力，允許使用由氫（H2）或氟（F2）產生的低壓等離子體進行薄膜沈積過程。該系統還包含一個先進的用戶友好圖形控制界面，允許方便的程序設置和有效的配方控制。機器可以與其他制造設備集成，以確保數據交換和工藝流程優化。TE 8500配備了兩個工藝室、兩個負載鎖、一個供氣箱和一個等離子源。使用適當的方法生成高密度等離子體。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500有一個特別的設計來優化工藝性能，具有較低的蝕刻材料消耗，以及減少蝕刻工藝對環境的影響。加工室內溫度被動穩定，創新陽極氧化控制系統（ACS）保持環境純度。ACS還可以防止陽極氧化反應受到環境條件變化的影響。TEL TE 8500配備了多種傳感器，用於監控等離子體功率、溫度、腔室清潔度等原位工藝參數。監視器允許操作員及時調整，以確保取得最佳效果。此外，其先進的控制系統使配方設置更加容易，並確保了對蝕刻過程的有效控制。TOKYO ELECTRON TE 8500對於需要高效蝕刻溶液的人來說是絕佳的選擇。其精度、速度、低成本、高效的工藝控制，使其成為半導體器件制造的理想選擇。
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