二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC #9148203 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC是用於半導體晶片蝕刻和灰化工藝的先進加工工具。其先進的技術允許更好的吞吐量、出色的均勻性、更高的精度、嚴格的可重復性和最小的產品汙染。機器的模塊化設計允許廣泛的配置和應用。TEL TE 8500P ATC的加工室可分為蝕刻、灰化和鎖載三個截然不同的部分。蝕刻階段使用工藝氣體從晶圓表面去除金屬或電介質。Ashing following retching and use a obledge-their process gas to remove organic striues, as photoresit, from the wafer surface.最後一節是鎖載室，用於將晶片引入系統，並為過程中的發生提供真空環境。TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC的主要部件包括一個主動靜電卡盤、源/淋浴頭和氣體組合單元。靜電卡盤在加工過程中保持晶片,通過提供熱控制來保持溫度穩定性,從而在整個蝕刻和灰化過程中保持溫度穩定性。源/淋浴頭用於生成過程等離子體，由射頻配電板、感應離子源和淋浴頭組件組成。氣體組合單元混合加工氣體，並將其輸送到等離子體室中。它還監視腔室和其負載鎖之間的壓差，以維持所需的真空水平。TE 8500P ATC配備了全面的過程控制軟件。其系統智能利用自動駕駛模式不斷優化蝕刻和灰化工藝。此外，它的板載電腦可以儲存各種食譜，允許各種條件和流量只需觸摸按鈕即可使用。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC是一款先進、先進的蝕刻和灰化工作站，為半導體行業帶來高水平的吞吐量和精度。由於它的模塊化設計和復雜的軟件，它可以提供卓越的工藝一致性和可重復性，以及最小的汙染。其先進的技術允許精確控制臨界蝕刻和灰化參數，使其成為高端半導體應用的絕佳工具。