二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293585750 待售
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ID: 293585750
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Dry etcher, 8"
Process: Oxidized film dry
Non-SMIF Type
AC Rack
EBARA A30W Dry pump
Pump control rack
AERA FC-720AC MFC
Gas: CHF3, CF4, O2, Ar, O2, CO
Back pressure: He
Treatment chamber: (3) Gases
Chiller
Power cable
Chiller cable
Power supply: AC 200V, 50/60 Hz, 3-Phase.
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是一種高度先進的蝕刻/asher設備,其設計旨在滿足一系列關鍵微加工應用的需求。該系統配備了功能齊全的過程控制以及各種復雜的硬件和軟件選項。可以定制設備以滿足特定的客戶要求。TEL TE 8500 P是一種完全集成的設備,專為高蝕刻速率、嚴格的過程控制以及對包括蝕刻、灰化和剝離應用在內的各種過程步驟的高效處理而設計。這臺機器有各種各樣的可自定義的選項,允許用戶根據自己的特定需求進行定制。TOKYO ELECTRON TE-8500 P配備了強大的高速微加工工具。資產能夠在單個過程步驟中執行最復雜的蝕刻、灰化和剝離操作。該模型配備了兩個獨立、功能齊全的成像儀通道,提供高分辨率、實時成像和微機加工特征成像分析。TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 P還具有交互式圖形用戶界面,允許用戶訪問和控制具有直觀和強大功能的設備。該系統具有自動化配方存儲、工藝參數優化、基於實時流程反饋的配方調整等多種工藝控制功能。TEL TE 8500 P的硬件設計為適合精確微機械加工。該單元由多個組件組成,包括主機、操作控制臺和電源,每個組件都是為實現最高性能和可靠性而設計的。還包括高速冷卻,以提高操作的安全性和準確性。最後,TE-8500 P提供了一套廣泛的軟件、服務和制造商提供的支持。這使得客戶可以輕松地利用高級機器功能,包括新的開發和工程服務,並通過刀具的操作獲得個性化的幫助,從而使用戶能夠最大限度地利用其微加工活動的結果。
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