二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293608635 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是為一系列微加工工藝而設計的高精度蝕刻器/asher。它提供了精確度、可重復性和可靠性的完美組合。TEL TE 8500 P具有四個獨立的運動軸。X和Y軸的分辨率均為5微米，允許精確放置基板表面。X軸還具有將基板從一個位置快速傳輸到另一個位置的簡短移動功能。Z軸的範圍為0.1mm-17.5mm。W軸具有± 45°的範圍，允許精確操縱基板定位。TOKYO ELECTRON TE-8500 P還提供多種工藝控制選項，如氧氣流和氣流。這使用戶能夠根據自己的特定要求自定義其蝕刻和灰化過程。獨立的離子源不需要在整個過程中重復手動調整,從而確保準確一致的蝕刻/灰化結果。為確保操作和維護方便,TEL TE 8500P包括觸摸屏顯示器和可選的PC操作。顯示器具有簡單的圖形用戶界面,可輕松監控和操作系統。PC操作允許用戶存儲和召回配方,簡化流程以實現可重復性,並運行統計流程控制測量。TEL TE-8500 P還提供卓越的安全標準,包括緊急停止按鈕、針對蝕刻/灰度壓力的自動調整以及對所有電機驅動器的過壓保護。無聲、無振動的操作也為用戶提供了最大的舒適度。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 P是一種用途廣泛且可靠的蝕刻器/asher，設計用於適應各種微加工工藝。它有四個獨立的運動軸、各種過程控制選項和直觀的觸摸屏監視器,可確保準確性、可重復性和可靠性。此外,它的安全特性與靜音操作相結合,使其成為任何應用程序的安全和舒適的選擇。