二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293608637 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是一款設計用於半導體行業的超高分辨率蝕刻器/asher。它是一種高度通用的設備，可用於處理光掩模、集成電路（IC）光刻、薄膜沈積等多種應用。TEL TE 8500 P具有較大的腔室尺寸,能夠同時處理具有高度均勻性的多個基板,同時為設備層和其他功能提供高性能解決方案。它的數字控制系統確保精確的對準和精確的圖樣，而先進的沈積技術使各種化學品得以使用。TOKYO ELECTRON TE-8500 P具有先進的真空系統，具有較高的沈積精度和可重復性以及優異的均勻性。對蝕刻器的幹蝕刻速率（EDR）和均勻性（UN）可測量參數進行控制，以實現極小介電損傷的超高分辨率。蝕刻器的控制器提供直觀的軟件，方便設置和操作，允許微調與特定應用的一系列參數。此外，TE 8500P包括一個先進和復雜的模式識別系統，使基板和模式在方位和徑向精確對齊。蝕刻器的大腔室尺寸還可以使金屬、絕緣體或半導體的多層同時沈積和陣列化。這樣可以縮短處理時間,並確保相同的薄膜厚度、晶粒方向和設備特性在所有層中都是一致的。此外，TE-8500 P可以與包括氟化載體（FACs）在內的各種氣體一起使用，並且能夠實現高精度沈積，同時具有較低的蝕刻速率和均勻性。蝕刻器還能夠為高速流程提供更高的生產率,並且能夠每小時處理多達100萬個模式功能,從而確保產品的最佳產量和低成本。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 P是一款高度先進的蝕刻器/asher，提供無與倫比的精度、精度和定位控制。它為各種半導體和器件制造過程提供了一個通用的平臺，使其成為廣泛研究和商業應用不可或缺的工具。