二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293643484 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P 蝕刻器/asher是一種最先進的半導體器件處理設備，在單個平臺中結合了蝕刻、灰化和清潔功能。其先進的特性使其非常適合半導體器件制造。機器可以直接從PC操作，允許用戶以最短的設置時間快速創建和操作作業。其先進的過程控制算法有助於保持穩定、高質量的過程，並使其更容易在蝕刻和灰化過程之間切換。蝕刻器/asher具有多種工藝選項,包括濕蝕刻和幹蝕刻,以及灰化和清潔功能。該系統還具有高速數字伺服控制單元，使用戶能夠微調蝕刻和灰化參數。該機還支持多種數字控制選項，如坡道控制器、PID控制器等工藝優化算法，以確保最優工藝性能。TEL TE 8500 P的高級安全功能包括泄漏檢測工具（LDS）和職業暴露極限（OEL）對過程產生的汙染物的監控資產。LDS能夠檢測痕量的氣體、蒸氣和氧化物顆粒，OEL監測模型不斷監測空氣中的顆粒、金屬蒸氣、氧化物等，以確保安全運行水平。設備還包括多個監控系統，用戶可以密切監控流程性能，包括存儲所有數據點和事件的高級事件記錄系統、溫度控制單元 提供溫度和壓力實時讀數的（TCS）和氣流機 （GFS），可用於分析氣壓、流量等數據點。此外,該工具還具有一個自動壓力控制資產（APC）,它使用戶能夠設置一定的操作壓力,並將根據流程條件自動進行調整。TOKYO ELECTRON TE-8500 P還通過車載數字化廢水處理模式和各種廢物管理方案提供環境保護。設備可以幫助降低用戶的能耗，降低他們的粉塵和顆粒水平，並提供環保的蝕刻和灰化解決方案。TE 8500 P是當今最先進的半導體器件制造工藝市場上最可靠的蝕刻器/asher。它具有完整的過程控制和監控選項,確保安全、可靠和高效的操作。