二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293643485 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是一種先進的蝕刻器，用於半導體制造工藝。多用途蝕刻器具有多種功能,如多個蝕刻過程、200mm/min的高吞吐量能力和可選的均勻性控制。該8500P通過實時監控溫度、壓力和蝕刻速率提供了出色的工藝控制,從而實現了精確的蝕刻輪廓。該蝕刻器利用了多種蝕刻化學物質，包括氯、碘和其他蝕刻材料，可配置用於幹蝕刻、濕蝕刻和濕/幹蝕刻工藝的組合。由於蝕刻器可配置多個蝕刻過程,因此該8500P非常適合各種應用程序。它允許在各種基板上進行卓越的爆破蝕刻，實現卓越的特性清潔度和臨界長寬比控制。此外，蝕刻器的高吞吐量能力、過程監控和可選的均勻性控制也使其在超高精度蝕刻任務中表現出色。TEL TE 8500 P蝕刻器還兼容真空過程控制和回收系統TEL FlexPump。這樣可以在蝕刻過程中實現更高程度的過程控制和效率。TOKYO ELECTRON TE-8500 P蝕刻器的通用性和可靠性使其成為各種蝕刻應用的理想選擇。其多重蝕刻工藝、高吞吐量能力、可選的均勻性控制和工藝監控相結合,實現了卓越的精密蝕刻作業,特別是對於高長寬比特性而言。它與TOKYO ELECTRON FlexPump的兼容性允許高度的過程控制和效率。而其出色的工藝控制也使得它成為各種蝕刻應用的可靠且經濟實惠的選擇。