二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293668446 待售
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ID: 293668446
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
Dry etcher, 6"
Process: Etch oxide
Main body
Load lock
Facilities connections
Dry pump
Gas panel
Chamber
Endpoint monitor
Power supply: 208VAC, 50 / 60 Hz
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P 蝕刻器/asher是用於制造集成電路、微電子產品和平板顯示器的最先進的光刻設備。它利用二氧化碳（CO2）激光器作為主要能源，在矽片中制造微結構。CO2激光束產生迅速準確，脈沖寬度小於一納秒，流暢度高達1.8 J/cm2。激光光束可以根據大小、形狀和強度進行調整，以產生所需的微觀結構。激光光束通過使用兩個集成的檢流計鏡和兩個變焦鏡頭進行高精度的定向和控制。TEL TE 8500 P 蝕刻器/asher還具有復雜的模式識別系統。該單元利用一種算法來識別入射圖像中的模式並相應地調整激光束。這樣可以確保在晶片中精確地再現目標模式。TOKYO ELECTRON TE-8500 P為用戶提供了廣泛的過程，從幹蝕刻到化學氣相沈積。它可以與多種基板一起使用，包括矽、藍寶石和的。它還提供了一系列經過優化的材料工藝，如濕蝕刻、幹蝕刻、快速熱退火和單片提升。此外,該機器還能夠確定每個特定過程的最佳級別範圍和控制參數。這樣可以確保產量最大化和保持,同時實現誤差和缺陷的最小化。TOKYO ELECTRON TE 8500 P也與眾多的機器人系統兼容，允許廠商使用自動化進行生產。蝕刻器/asher配備了廣泛的維護和故障監控系統，使其能夠連續運行並獲得高度成功。TE 8500P是一種先進的蝕刻器/粉碎器工具，它利用強大的CO2激光器在基板上創建精確的微結構。它具有復雜的模式識別和最佳的控制參數，非常適合制造小型復雜組件。它還與許多機器人系統兼容，允許自動化生產。此外，其眾多的故障監控系統確保了可靠、連續的運行。
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