二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293757419 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是一種蝕刻器/asher，用於制備樣品用於半導體材料的檢驗和分析。這個單元結合了兩種技術--等離子體蝕刻和化學蝕刻--在各種各樣的材料上實現精確、可重復的結果。其等離子體蝕刻技術利用高頻無線電源產生帶電離子的等離子體場，從而實現一致的蝕刻過程和最小程度地暴露於不受控制的環境條件下。等離子體蝕刻工藝是可調的，以實現蝕刻速率控制，並允許最多五種可選的工藝氣體，允許用戶獲得各種材料、型材和工藝的理想蝕刻配置。TEL TE 8500 P還結合了化學蝕刻技術，具有更高的選擇性和更精確的蝕刻止動。該系統旨在控制樣品表面上遮罩圖案的均勻性，並有選擇地蝕刻所需的區域。它還提供了可變工藝條件的靈活性，包括蝕刻時間、沐浴溫度、pH、電阻率和沖洗水平。化學蝕刻工藝能夠獲得對p型和n型模具等材料的高選擇性，以及精確的蝕刻止動。TOKYO ELECTRON TE-8500 P是一個高效的，用戶友好的系統，允許精確蝕刻分析與最小的操作員輸入。它采用LCD觸摸屏選擇的高級用戶界面,允許用戶訪問各種工具,以便輕松設置和維護一致結果所需的精確蝕刻條件。TE-8500 P配備了精確的傳感器，用於監測腔室和晶圓溫度、氣流和離子電流，以確保一致的蝕刻過程。對各種工藝參數進行了控制和監控，如蝕刻速率、腔室壓力、溫度和施加功率，從而實現了蝕刻工藝的全面優化。總之，TE 8500 P是一種強大的蝕刻器/asher，它提供了以精確、可重復的蝕刻速率蝕刻各種材料的靈活性。其先進的界面、精確的傳感器和可定制的蝕刻工藝參數為任何應用提供了最佳的蝕刻結果。TE 8500P是一個可靠和用戶友好的解決方案，蝕刻和制備半導體材料進行檢驗和分析。
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