二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293766868 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是一種用於半導體器件制造的自動蝕刻器/aser。該設備配備了自動塗層室、制冷劑蓋、可編程磨料檢測器、負載鎖定臂系統等先進功能。TEL TE 8500 P利用先進的空氣承載平臺，對半導體器件的墊層提供精確的運動控制和穩定性。這樣可以實現精確、可重復的結果,周期時間短,過程均勻性得到改善。TOKYO ELECTRON TE-8500 P在其蝕刻循環中具有三個階段的過程，可以同時蝕刻多達八種不同的材料。第一階段是一個預處理步驟，旨在清除可能幹擾過程的汙染物。第二階段是一個拋光步驟，幫助實現所需的輪廓和表面光潔度。第三階段是保護層蝕刻步驟，塗上堅硬的保護塗層，以保護裝置免受外部磨損和腐蝕。TOKYO ELECTRON TE 8500P也因其自動塗層室而減少了操作誤差和循環時間。該腔室防止塗層顆粒在蝕刻過程中逸出，並加快循環時間。腔室配有制冷劑蓋，降低工藝溫度，提供受控氣氛，進一步確保均勻蝕刻效果。這些特性的結合提供了精確可靠的表面化學，減少了浪費，提高了產量。TE 8500 P還優化了溫度控制，以保持整個基板的均勻溫度。這樣可以在整個過程中加快蝕刻周期和精確的質量控制。此外，該單元中的可編程磨料檢測器可以精確控制磨料顆粒，降低基板損壞的風險。負載鎖臂機最大限度地減少了基板與基板的接觸，進一步降低了缺陷和損壞的風險。TOKYO ELECTRON TE 8500 P是一款先進的、工業級的蝕刻器/aser工具，旨在產生高質量、可重復的結果。通過結合先進的特點和精確的溫度和精確的表面控制，這種資產提供了一個高效、可靠的蝕刻解決方案。其先進的功能和自動化的流程使其能夠保持超高的吞吐量，使其成為先進半導體器件制造商的熱門選擇。
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