二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #9398283 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P 蝕刻器/asher是一種高效率的蝕刻/灰化設備,用於細化各種材料的表面,用於許多應用,如集成電路處理、平板顯示器生產、光掩模圖案。TEL TE 8500 P系統通過高級控制技術、高級組件、綜合安全功能的結合,為用戶提供高增益性能和耐用性。它利用專有的軟件算法和硬件組件為用戶提供對曝光、定時和溫度的精確控制。TOKYO ELECTRON TE-8500 P 蝕刻器/asher單元包括一個強大的蝕刻單元和一個集成真空Chuck,以及一個集成的asher腔室,以提供精確的蝕刻/ashing過程。蝕刻/灰化機設有除去有害氣體的空氣罩,以及減少潛在有害物質的氣體凈化工具。TOKYO ELECTRON TE 8500P還提供定時和溫度控制的蝕刻/灰化工藝進行校正,以及最多八個氣體連接進行高質量的蝕刻/灰化。TEL/TOKYO ELECTRON TE-8500 P的精確溫度控制和可調高頻蝕刻源減少蝕刻時間,減少振動,提高均勻性。要調整蝕刻速率,資產有可選的高、中、低溫設置。其電流模式和電壓模式是可調的,蝕刻氣體型材是可調的。TOKYO ELECTRON TE 8500 P還配備了一個「維護端口」,允許操作員在出現問題時檢查和調試設備。該模型還具有自動校準、增強的內存管理和高級診斷功能,以方便設備監控和防止意外停機。TE-8500 P 蝕刻器/asher系統為金屬、合金、陶瓷材料和有機材料的CMP和蝕刻等制造工藝提供了高效、通用的解決方案。它需要最小的用戶設置、可靠的操作和高質量的結果,使得它成為許多蝕刻和ashing任務的絕佳選擇。
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