二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #9412456 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P是用於半導體和其他工業應用的先進蝕刻器。它旨在提供高精度、可靠性和過程可重復性。TEL TE 8500 P以真空蝕刻設備為基礎，具有平板載重鎖和載重站。它配備了一個450mm的腔室，2.5英寸和4英寸的加工區和單一、雙或四艙設計。它采用自動頻率Control™和氧化物Assist™腔室清洗技術，以確保一貫的高吞吐量和處理均勻性。TOKYO ELECTRON TE-8500 P利用高精度光電子光學系統提高位置精度。還可以對每個舞臺采用雙位開/關設置實現自動化，以優化腔室性能和過程控制。此外，壓力控制工藝提供了快速和可重復的蝕刻和沈積步驟。TOKYO ELECTRON TE 8500 P隨TEL專有APT OPC交付。APT OPC是一個基於模型的光學接近校正，它允許最佳的光刻和蝕刻結果。它還能夠以45nm或以下的分辨率運行,並且與各種配方兼容。蝕刻器具有符合人體工程學的控制系統,具有直觀的圖形用戶界面和自動操作參數,可作為配方存儲在數據庫中。TE-8500 P可以進一步定制,以滿足可重復使用的序列、文件流功能、插件模塊和增強的OPC功能的生產要求。TEL TE-8500 P包括幾個安全功能,包括過壓安全互鎖,可確保使用三級密碼訪問單元在可接受的壓力之間進行過程操作。它還具有防止蝕刻工具汙染的動態溫度控制機和化學管理功能。總之，TOKYO ELECTRON TE 8500P Etcher是先進的半導體蝕刻應用的理想選擇。它將高精度、可靠性和過程重復性與專門的蝕刻技術、直觀的控制系統以及各種安全功能結合在一起，以實現優化的蝕刻過程。