二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PATC #9236832 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PATC 蝕刻器/asher是一個先進的模式平臺，旨在為半導體行業的應用提供最高水平的過程控制和精度。該設備具有高通量、經濟高效的平臺,可靈活運行各種不同的蝕刻過程。該系統利用先進的幹蝕刻技術，在小至0.13um的區域提供精確的圖樣。該單元包括五個核心子系統--等離子體控制、蝕刻室、高精度機械掃描儀、負載鎖定機和真空工具。等離子體控制資產用於監測和控制等離子體參數，如離子密度、離子電子比、腔室壓力和溫度。蝕刻室被包裹在一個隔離的室內，以便提供一個清潔的工作環境。高精度機械掃描儀用於精確控制源和目標之間的靜電場，從而實現精確的圖樣化。載荷鎖定模型用於將基板從轉移室快速轉移到蝕刻室。最後，使用真空設備，確保整個裝配密封、工作正常。該系統具有較高的自動化水平，可減少過程變量並提高吞吐量。每個基板都可以配置預定義的蝕刻參數，從而實現連續高效的蝕刻過程。該單元配備了嵌入式平臺，集成了運動控制單元和核心過程算法，以確保每個過程步驟以一致性精確重復。機器還可以連接到粒子監視器、氣體監視器、晶圓處理系統和負載鎖等外圍設備，從而可以融入工廠生產線，進一步提高生產率。TEL TE 8500PARTC工具的總成像面積為700 x 700毫米，是大型半導體器件的理想選擇。該資產還具有99%的高可重復性,確保每轉一圈都能生產出始終如一的高質量設備。基板可以配置為在任何方向和方向上蝕刻,自動過程控制可確保每次獲得精確一致的結果。TEL TE 8500PATC 蝕刻器/asher是一種高級型號,旨在提供最高級別的精度和過程控制。它的高精度和可重復性，加上高吞吐量，使其成為半導體工業中復雜模式化過程的理想解決方案。