二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #155452 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE是專門為高通量、精密蝕刻和灰化工藝而設計的蝕刻器/灰化器。它提供了卓越的精度，最大可達到的分辨率分別為1.02 µm和50 µm，用於蝕刻和灰化，使薄膜厚度更薄。該設備還能夠處理各種材料，如氧化矽、氮化矽和氮化鈦，從而能夠制造小型化和高密度的裝置。TEL TE 8500PE具有高達2500 sccm的高氣體流速和存儲在其內部內存中的多達四十四個高速配方程序，允許用戶在不同配方之間快速編程和更改。TOKYO ELECTRON TE 8500 PE還具有強大的嵌入式計算機操作系統和用戶友好的圖形界面，使配方設置和參數調整變得容易。其他功能包括一個直到7KW的雙陰極射頻電源和一個實時數據收集的過程監控單元。TE 8500PE配備了一臺自動盒式到盒式晶片傳輸機，一次可處理多達200個晶片，確保高通量和高精度的過程。此外,該工具還具有自動檢出功能,可監視和調整工藝穩定性的配方參數。對溫度、壓力以及其他蝕刻和灰化參數的精確控制由閉環控制資產提供，使用戶可以實現高重復性。伴隨著過程控制，TOKYO ELECTRON TE 8500PE還配備了多重鎖載機構和安全屏蔽等安全功能，以保護操作員免受輻射。蝕刻器/asher還具有自動清潔周期,並具有快速維護功能和優化的工業設計,從而降低了運營成本。TE 8500 PE是精密蝕刻和灰化工藝的理想蝕刻器/灰化器,提供卓越的精度和可重復性、高通量、廣泛的工藝材料、強大的功能和安全功能。