二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #197617 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE
ID: 197617
晶圓大小: 8"
優質的: 1993
Oxide etcher, 8" 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE是為半導體底物加工而設計的先進幹蝕式蝕刻器/asher。該儀器用於薄膜在晶片表面的精確高分辨率沈積。該設備提供了良好的過程控制,並具有許多功能,旨在確保可重復的過程結果。TEL TE 8500PE進行高速蝕刻,幾乎沒有顆粒汙染.該蝕刻器配有等離子體源和直接射頻發生器,允許使用各種不同的蝕刻技術。對壓力、功率、氣流等參數的精確控制,使用戶能夠對關鍵過程結果進行指定,絕不妥協。采用高真空抽水系統在蝕刻過程中保持穩定和清潔的氣氛。這是通過保持室內微粒和氣體分子的低水平來實現的。除蝕刻外,TOKYO ELECTRON TE 8500 PE有能力對鈦鎢等材料進行幹蝕刻。它也使得在過程中有可能沈積抗蝕劑或二氧化矽等化學成分,使表面除了蝕刻之外更加均勻。該單元非常適合深度、寬度和表面積控制的精度和可重復蝕刻。在安全和保護機制方面,TEL TE 8500 PE具有確保儀器安全運行的特點。以磁性屏蔽的形式存在輻射防護,保護使用者免受有害輻射。此外,機器還配有防汙染過濾器,可防止灰塵或其他顆粒進入蝕刻器/灰燼室。這對於預防產品的潛在損害尤為重要。TOKYO ELECTRON TE 8500PE是生產高精度元件的理想蝕刻器。憑借其先進的特性和出色的工藝控制,它能夠產生符合最高行業標準的可重復結果。該儀器還提供安全和汙染控制的保證,以確保產品質量。
還沒有評論