二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293635445 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE 蝕刻器/asher是一種利用直流（DC）平面磁控管等離子體過程與物理氣相沈積（PVD）相結合的最先進的蝕刻裝置。這種高度先進的蝕刻器/灰化器用於等離子體蝕刻和薄膜沈積。該裝置具有許多技術特點，比傳統的蝕刻/沈積技術有幾個優點。TEL TE 8500PE具有獨特的雙源設計,在蝕刻/沈積過程中具有很大的靈活性。它提供了使用各種氣體的選項，例如氦氣、氯氣、氙氣、氧氣和氫氣，從而在蝕刻和沈積過程中具有很大的多功能性。裝置中強大的磁控管產生強烈而均勻的等離子體場，確保理想的蝕刻/沈積過程結果。此外,直流電源可以更好地控制蝕刻和沈積速率,從而實現高質量的蝕刻/沈積過程。以極高的沈積速率，TOKYO ELECTRON TE 8500 PE能夠實現高覆蓋度。這種先進的蝕刻器/灰化器有一個大的封閉腔室，其復雜的設計提供可靠的溫度和壓力控制，防止質量問題與蝕刻/沈積過程。此外，該裝置還配備了吸力保險杠、光發射光譜和石英晶體監測等技術，能夠進行質量控制。TE 8500 PE還采用了先進的安全環保技術，包括自動泄漏檢測、碳過濾系統和真空疏散系統，使其成為大批量生產的絕佳選擇。此外,該設備采用自動化維護系統進行設計,使設備易於維修和外部更新。綜上所述，TE 8500PE蝕刻器是一種精密的蝕刻/沈積裝置，為蝕刻和沈積提供了一種通用、可靠的工藝。其先進的特點使其成為大體積、均勻蝕刻和沈積的完美解決方案。此外，強大的磁控管、大的封閉式腔室以及復雜的安全和維護特性使其成為任何蝕刻/沈積設施的理想設備。