二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293643486 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE是一種蝕刻器（又稱asher），用於從塑料、金屬、陶瓷等多種基板上制造電氣元件。TEL TE 8500PE裝有一個500 mm x 500 mm的石英腔室，擁有一個高速基板運輸設備，容量可達200晶圓/負載。該系統旨在提供超平滑和均勻的蝕刻工藝。TOKYO ELECTRON TE 8500 PE提供多種工藝能力，包括真空等離子體蝕刻（VPE）、反應性離子蝕刻（RIE）、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）、感應耦合等離子體（ICP）、原子層沈積。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PE配備了先進的工藝控制單元，以保證工藝穩定性。本機包括閉環溫度控制工具、壓力監測資產、過程壓力控制模型、過程氣流監測器以及用於控制過程壓力、溫度、氣流的質量流量控制器。此外，TOKYO ELECTRON TE 8500PE包括用於分析過程和預測產量的內置軟件。TEL TE 8500 PE還提供了廣泛的可選功能和附件,以進一步增強其性能。這些附件包括用於為苛刻過程創建更強等離子體的射頻發電機、用於支持暴露過程的石英曝光頭、用於增強工藝選擇性的額外工藝氣源以及用於在暴露後定位樣品的取樣器。TE 8500PE是一種用途非常廣泛的機器,當用於創建微處理器、晶體管和其他組件時,可提供可靠且可重復的結果。其先進的控制系統和廣泛的可選功能選擇使其成為市場上最受歡迎的蝕刻機之一。