二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293643494 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE是一種用於半導體制造業的高性能、下一代蝕刻器/asher。它利用非工藝操作和自動化材料管理提供了卓越的工藝性能。TEL TE 8500PE擁有300毫米的大型蝕刻室，能夠同時容納多達8個晶圓。蝕刻器還提供對蝕刻參數的高度精確控制,包括蝕刻速率、水平、自由形狀、蝕刻輪廓和均勻性,以及可選擇的電阻率級別。TOKYO ELECTRON TE 8500 PE利用了最先進的化學氣相沈積（CVD）技術，在蝕刻表面產生薄膜層。通過調節溫度和壓力，可以利用CVD工藝調節蝕刻工藝的化學反應性和選擇性。這使TE 8500 PE能夠創建結構極其精細且特征尺寸減小的模式。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PE也提供了廣泛的工藝選擇，有多種材料，包括低k、有機物、摻雜和具有CMP能力的工藝。蝕刻器還包括高級流程自動化功能,提供在線晶圓映射、OCR、產量監控和數據處理選項,使用戶能夠快速優化流程並提高總體生產率。TE 8500PE能夠處理一系列不同的蝕刻化學物質，包括濕法和幹法蝕刻工藝。它可以配置用於RIE（反應性離子蝕刻）和DRIE（深部反應性離子蝕刻）工藝,具有多種化學選擇,這要歸功於它的大型加熱淋浴頭、耐用的不銹鋼腔室和可調節的工藝氣體控制。TOKYO ELECTRON TE 8500PE專為易於使用和維護而設計。該系統具有用戶友好的界面、顯示和傳感器以方便用戶,以及一套板載自我診斷和維護實用程序,使用戶能夠快速排除故障並評估蝕刻結果。總體而言,TEL TE 8500 PE提供高精度蝕刻性能和過程靈活性。由於其先進的自動化功能和用戶友好的設計,蝕刻器/asher非常適合一系列半導體制造應用。