二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #9158083 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE是一種將先進的等離子體處理與廣泛的蝕刻/灰分能力相結合的蝕刻器/灰化器。此模型旨在提供卓越的處理質量,並降低停機時間和總體維護成本。該設備采用獨特的邊圓墻技術,可提高蝕刻的均勻性,並配有MFF™（多頻發生器）,可確保一致的蝕刻/灰燼性能。TEL TE 8500PE 蝕刻器/asher配備了SoftCath™等離子體、EMC™電子束源和先進等離子體源傳感器技術，與其他蝕刻器相比，具有更高的選擇性和更高的蝕刻速率。該系統還具有多種配方支持、流程自動化、直觀的用戶界面以及保存自定義配置文件的功能。TOKYO ELECTRON TE 8500 PE蝕刻機/asher具有高真空單元和先進的氣體輸送機，可實現精確的氣流控制。該工具具有高達700℃的最高工藝溫度和高達30 eV的高離子能量,以實現最大的表面活化。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PE 蝕刻器/asher帶有各種工藝監控選項，包括實時腔室監控、工藝條件的精確控制以及車載診斷。該資產還與來自TEL和其他制造商的其他蝕刻器/ashers系統和工藝室兼容。TE 8500 PE 蝕刻器/Asher具有所有這些功能,是需要高級蝕刻/灰燼功能且最小的停機時間和成本節省的組織的理想選擇。