二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC #9194482 待售
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ID: 9194482
優質的: 1996
Oxide etcher
Chamber
Wafer type: 8" Notch
Wafer loading type: Nomal
Processing type: Vacuum
Utility specifications:
Unit / Setting pressure
CDA (Air) / 6~8 Kg/Cm2
CF4 / 10~20 Kg/Cm2
He / 10~20 Kg/Cm2
Ar / 10~20 Kg/Cm2
CF4 / 10~20 Kg/Cm2
CHF3 / 10~20 Kg/Cm3
He / -
He / 10~20 Kg/Cm2
He / 10~20 Kg/Cm2
Main system:
Robot: Servo motor type
Valve: TYLAN GENERAL APC
Gage:
Maker / Model / Unit
TYLAN GENERAL / CML / 100 torr Pressure gauge
TYLAN GENERAL / CML / 100 torr Pressure gauge
TYLAN GENERAL / CML / 10 torr Pressure gauge
Gas flow control:
Maker / Model / Unit
STEC / SEC-4400 / 1000 SCCM MFC ( He )
STEC / SEC-4400 / 100 SCCM MFC ( N2 )
STEC / SEC-4400 / 1000 SCCM MFC ( Ar )
STEC / SEC-4400 / 200 SCCM MFC ( CF4 )
STEC / SEC-4400 / 100 SCCM MFC ( CHF3 )
Sub module:
Maker / Model / Unit
SEIKO SEIKI / MG-STPH600C / TMP Controller
SEIKO SEIKI / STP-H600Ci / TMP Controller
EDWARD / QDP80 / Dry pump
EDWARD / QDP81 / Dry pump
KOSAN / BCU-D152 / Chiller
RF Unit:
Make / Model / Description
OEM / - / Matcher
DAIHEN / MFT-20SA / Generator
DAIHEN / MFG-20SA / Power supply
DAIHEN / MFG-20SA3 / Volumcon't
Main power specifications: 3-Phase, 208 VAC, 60 A
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC是TEL製造的高效能蝕刻器/asher。它是一種多室設備，由兩個獨立的腔室組成，一個用於蝕刻，一個用於灰化。這允許高吞吐量和低基板到基板的變化。該系統具有多項高級功能,可提供靈活性和易用性。8500S的蝕刻室包含一個包含氧氣、氦氣和氯氣的三區源，用於優化各種材料的蝕刻。Asher腔室設計用於處理金屬和介電層，通過提供對氣體流動的精確控制水平。灰光機還提供了編程和控制任何灰光機操作的氣流數量/比例的能力。在這兩個腔室中,8500S都配備了可配置的蝕刻/灰化腔室和壓板幾何形狀,可提供均勻且可重復的蝕刻/灰化性能。此外,該單元還具有用戶友好的軟件界面,可詳細控制流程參數和配方開發。TEL TE 8500S ESC還具有先進的安全措施,如鎖定操作和環境保護機器,可防止任何類型的事故並確保安全的環境。此外，該工具還具有自動錯誤檢測和糾正功能，可減少發生過程和資產錯誤的機會。該8500S利用真空控制的大氣環境來確保清潔、無汙染物的蝕刻和灰化環境。該模型還具有氣體噴射設備，允許引入自由基等外來氣體或氯或氟等分子。TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC是一款高度可靠的蝕刻器/asher,可為用戶提供工業用途所必需的可靠性、速度和高性能。該腔室緊湊,易於與其他系統集成。8500S ESC具有自動錯誤檢測、用戶友好的軟件和可配置的蝕刻/灰化室等高級功能,可提供高效、精確的蝕刻和灰化性能。
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