二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293608636 待售
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ID: 293608636
優質的: 1996
Oxide etcher
Wafer type: Flat
Chuck type 1: Polymide
Chuck type 2: ESC
Cassette, 6"
Monitor type: LCD
Signal tower: PATLITE SLF-V (R / Y / G / B)
Wafer transfer module:
Transfer robot: Load lock 1, 2, 3 / 6" or 8"
Transfer robot motor: R-Motor, E-motor (L/L 1,2,3)
Transfer robot driver: R-Driver, E-driver (L/L 1,2,3)
Process module 1:
APC Valve: TYLAN MDV-108
APC Heater and heater controller: Heater type
DAIHEN MEM-20SA Matcher
DAIHEN MFT-20SB Power splitter
VACCUM GENERAL CMLA-11 C/M (Baratron): 10 Torr
B.P He Control (Edge):
C/M (Baratron): TYLAN CMLA-21 100 TORR
PCV Unit / He controller: AERA PV-104C
MFC: SEC-7440
SEIKO SEIKI STP-H600C-T107 TMP
GAP
DC HV Module
Gas module: P/C1
MFC / Gas1: O2 / 20 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas2: N2 / 100 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas3: AR / 2 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas4: CF4 / 200 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas5: CHF2 / 200 SCCM / STEC / SEC-7440
DAIHEN MFG-20SA P/C Power generator
LASEM TECH BCU-L152 Dual chiller
EDWARDS iQDP80 P/C Pump
EDWARDS iQDP80 L/L Pump
JOBIN YVON H-10VIS EPD
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S是一種最先進的蝕刻/ashere設備，常用於半導體生產過程。它利用先進的技術為蝕刻和灰化工藝提供高精度、精確度和速度。TEL TE 8500 （S）的創新設計允許高度自動化和精確的蝕刻和灰化過程。這是用各種設備來完成的，例如晶圓級監視攝像機和特殊類型的蝕刻/ashers代理。此外,該系統可以遠程操作,並且可以編程以快速、準確地執行不同的蝕刻/分離器過程,而只需很少的人工輸入。此外，該工藝的真空蝕刻/灰燼工藝效率很高，減少了基材的損壞，提高了蝕刻的均勻性。該機還配備了一系列傳感器，如總壓力表、O2含量傳感器、薄膜厚度監控器，可以進行精確準確的過程監控。此外,該機組設計方便維護,減少了生產線的停機時間.TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）能夠使用廣泛的材料，如多晶矽和氧化矽、雙極、CMOS和模擬設備，從而為生產線提供更大的通用性。它還可以在一定的直徑範圍內工作，例如200毫米、300毫米和450mm尺寸，以及提供一系列晶圓載波，從2英寸到8英寸方形晶圓。在過程控制方面,TE 8500 （S）提供了廣泛的選項,例如改進的過程控制和有限的監控。該機還在設計時考慮了用戶安全，可以激活某些安全功能，如安全前線，以保護操作員免受環境危害。TE 8500 （S） 蝕刻/ashere工具是任何生產線的可靠而靈活的解決方案,提供了一系列難以匹配的功能和功能。其先進的設計為各種不同的蝕刻和灰化工藝提供了高標準的精度、速度和精度。它的遠程操作、自動化過程控制和用戶友好的設計使其成為任何生產線的高效工具。
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