二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293643118 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S 蝕刻器/asher是一種先進的蝕刻/灰分設備，用於各種蝕刻和灰分工藝。它是一個靜態的過程改變系統，能夠調整蝕刻和灰化過程參數，以適應客戶的特定需求。該單元能夠進行低溫、高分辨率的蝕刻和灰化處理,以及復雜的多步驟處理,並且可以使用多種材料。TEL TE 8500 （S）具有包括烤箱、輸送機、負載鎖、加工室和晶圓轉換機在內的緊湊設計。它還包括兩個原位灰化工藝室，每個室能夠在並行配置中獨立運行，從而能夠精確控制蝕刻/灰分工藝參數，滿足各種蝕刻和灰分要求。該工藝室具有處理20英寸晶片的能力，最大壓力為220 m Torr，溫度可達180℃。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）配備了先進的自動調諧工具，使用戶能夠輕松調整流程設置。它還具有用戶可選擇的氣體分配控制資產,允許精確的過程參數,以及用於控制蝕刻/灰燼過程的高級監控模型。還包括ESD檢測、超壓防護、有毒氣體泄漏監控等多項安全功能，確保安全運行。除了精密的設備設計外，TE 8500S還備有一系列先進的工藝軟件。其Process Chemist軟件允許用戶根據需要定制和微調流程配方，而其Process Commander軟件則允許用戶以各種方式控制系統參數。TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）也與SIEMENS和Agilent AssetView系統兼容，使用戶可以輕松跟蹤和分析單位數據。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）提供多種特性和功能,使其成為各種蝕刻和灰化工藝的多功能蝕刻器/灰化器。其先進的機器設計、安全特性和一系列的加工軟件使其成為任何蝕刻和灰化應用的理想選擇。