二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293811570 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S是一種用於創建集成電路的蝕刻器/asher，用於廣泛的行業和應用。蝕刻器/粉碎器是制造過程中的關鍵部分，用於從矽片或玻璃基板創建精確的電路。它利用電磁能從基板上去除材料，從而對電路的幾何形狀、厚度和其他特征進行極其精確的控制。TEL TE 8500 （S）具有一個能量束源,能夠以小至30微米的光斑大小提供高達2200瓦的功率。這使用戶能夠以亞微米精度蝕刻特征，並能夠實現遠低於光波長的線寬。該源提供了從20到150kHz的廣泛工作頻率，並且可以在低至25 mTorr的真空壓力下工作。提供了氣動驅動壓力級，使用戶能夠將基板平整地對準晶圓表面。這允許有聚焦的激光束和更精確的蝕刻。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）還設有專利的可調焦導軌，使用戶可以調節激光束的焦點。這與316不銹鋼腔室具有極好的耐腐蝕耐磨設計。TE 8500 （S）具有多合一的設計，具有高精度的旋轉和升降臺、數字顯示和鍵盤輸入以及觸摸敏感操作。包括一個內置的安全系統，具有緊急停止和互鎖功能，以及自動關閉和空氣冷卻系統。TOKYO ELECTRON TE 8500S設計用於處理廣泛的應用,從晶圓/基板蝕刻/灰化到工具制造和研發。其優越的精確度和可靠的安全特性使其成為制造集成電路的完美蝕刻器。