二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9148390 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S是一種先進的蝕刻和灰化系統，設計用於一次處理多達150個晶圓。它具有獨立等離子體加工室、三維加工室運動能力以及廣泛的蝕刻和灰化技術的靈活架構。該設備采用單片和雙面加工，具有高精度的勢能控制和高質量的過程監測。該系統采用低噪聲、高功率RF和直流電源以及先進的自動調節技術,能夠提供卓越的可重復性和均勻性。它提供超高蝕刻分辨率和精確的逐級蝕刻或逐級蝕刻控制,並在在線和離線模式下進行實時蝕刻和灰化監控。該單元可以在廣泛的晶圓尺寸和配置中實現可重復的結果。TEL TE 8500 （S）還具有自動基板識別以及精確的三維托盤運動和定位功能,可實現最大的靈活性。它提供了過度蝕刻保護、快速蝕刻控制、快速停止控制等先進蝕刻管理功能，確保了精細基板的安全加工。這臺機器的創新工藝均勻性監測器能夠在整個晶圓區域實現均勻的等離子體蝕刻。此外，TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）提供了對蝕刻、灰化和沈積過程的精確控制，並提供了先進的基板清潔和去鑲板功能。它利用先進的工藝室加熱和冷卻來優化蝕刻性能。最後,它包括一個強大的配方語言,允許動態過程參數調整.憑借其先進的特性和功能，TE 8500 （S）是一次最多150個晶圓的高精度批處理的理想蝕刻和灰化系統。它能夠以高精度和高精度實現可重復的結果。