二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9269148 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S是一種蝕刻器/asher，設計用於制造由矽片、石英、結晶材料等材料制成的各類基板。配備高精度控制設備和高通量等離子體源。該系統能夠以高精度加工基板，提供優異的蝕刻效果。它配備了一個多氣體流量控制器和一個多區域工藝室，可以在所有目標條件下實現準確、高質量的蝕刻工藝。它還采用集成閉環控制單元和高精度溫度傳感器進行設計，以確保過程的穩定性和均勻性。此外,TEL TE 8500 （S）還提供了超高分辨率陣列處理功能,可提高陣列保真度和選擇性。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）具有高分辨率的等離子體源，具有高密度的離子能，有助於創建統一的蝕刻模式。它還有一個晶圓級加熱機，方便更高的附著率和更好的形成模式。利用高密度離子束結合直流和射頻效應，實現了厚度和電阻率均勻層的精確沈積。此外,TEL TE 8500 （S）采用自動晶圓傳輸工具設計,可在不影響工藝穩定性的情況下快速準確地裝載和卸載基板。它配備了高性能的自動室內清潔設備，可確保高效的維護和清潔周期。它支持多種底物的各種化學和自動化機會。TE 8500S具有優異的蝕刻性能,適用於半導體器件的制造和研究.它也是醫療、汽車、航空航天和納米材料薄膜沈積和蝕刻工藝的理想工具。