二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #9316073 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S是一種先進的半導體蝕刻器/灰化器,旨在提供卓越的精度和生產率。這種蝕刻器/灰化器適用於各種各樣的過程，包括退火、化學氣相沈積（CVD）、物理氣相沈積（PVD）、濺射和離子束蝕刻。它具有高速晶片傳輸、多步配方控制、自動端點檢測、低背面蝕刻和高精度劑量控制等特點。TEL TE 8500 （S）具有強大的真空室，有效控制隔離或深蝕刻等多種蝕刻工藝的工藝條件。該蝕刻器/asher利用Magnetron型高頻逆變器電源提供優越且更均勻的離子束蝕刻性能。它還具有種類繁多的源氣體噴射器，用於均勻、清潔的蝕刻，表面粗糙度低。此蝕刻器/asher能夠在一次運行中處理尺寸不超過8英寸的晶片。TOKYO ELECTRON TE 8500 （S）具有直觀的圖形用戶界面（GUI），以方便日常操作和維護。它還具有可視化檢查系統（VIS）,可幫助監控處理步驟。此外，這種蝕刻器/asher有一個緊急停止系統和多個安全系統，以保證用戶和設備的安全。它還提供了一個非常穩定的電源，具有動態波形控制，以實現更精確的劑量控制。TEL TE 8500 （S）由於其雙級閥門技術，為蝕刻工藝參數提供了高精度和重復性。它還利用先進的脈沖模式識別提供即時和自動調整的理想蝕刻輪廓。這使得蝕刻器能夠產生極高的產量和可靠性的過程結果。總體而言,TE 8500 （S）是一款頂級蝕刻器/asher,可提供卓越的精度和工作效率。它非常適合用於需要高精度和重復性的半導體研發和生產過程。它具有強大的真空室和先進的采購氣體噴射器、多種安全系統、圖形用戶界面和視覺檢查系統（VIS）。它還配備了自動端點檢測和動態波形控制，用於極精確的劑量控制。