二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8501 #293608640 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501是一種利用先進等離子體蝕刻技術的蝕刻器/asher設備。該系統提供令人印象深刻的等離子體蝕刻精度,這在蝕刻半導體晶片時尤為重要。這個單元有一個集成的電子回旋共振(ECR)源,通過射頻(RF)波產生等離子體。ECR源創建了高質量和高度均勻的等離子體,非常適合需要高精度的半導體蝕刻等應用。此外,TEL TE 8501有一個強大的數字反饋控制機器,可用於精確控制等離子體蝕刻過程。TOKYO ELECTRON TE 8501還配備了功能強大的工藝監控工具(PMC-S),幫助用戶輕松監控和調整蝕刻參數。它有助於最大限度地提高蝕刻性能,使用戶能夠獲得所需的蝕刻結果。PMC-S資產具有可選的數據記錄功能,可以跟蹤蝕刻參數和性能。它還提供了可自定義的配方,可以幫助用戶自動化流程參數。最後,TE 8501是一種高度可靠的蝕刻工具。它有一個自動化的維護模型,可以提高性能,減少維護,並增加設備的壽命。它配備了先進的安全功能,保護用戶免受任何蝕刻工藝相關的物理和化學危害。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501對於需要精確可靠的蝕刻系統的用戶來說是一個極好的蝕刻選項。其先進的等離子體蝕刻功能和可定制的參數設置有助於取得優異的蝕刻效果。此外,其堅固的結構和自動化的維護功能有助於保持設備長時間有效運行。
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