二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 8501 #9396122 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8501是一款先進的蝕刻/asher設備，設計用於在單個系統中執行多種蝕刻和沈積過程。該單元使用基於效果的工具來精確控制蝕刻或沈積過程，允許用戶以經濟高效的方式實現可重復的結果。該機器的設計目的是在半導體晶圓、光掩模、MEMS和納米級結構等基板上提供出色的蝕刻和沈積結果均勻性。該工具具有先進的多階段蝕刻/沈積室，使其能夠提供廣泛的蝕刻和沈積過程。資產還配備了實時端點監控工具、多軌模式、陣列晶圓生產支持等幾項先進功能。該模型利用等離子體、惰性氣體和射頻功率的多個來源進行各種蝕刻和沈積過程。該設備進一步配備了高速灰光機，用於高通量應用。它能夠提供高通量的蝕刻/沈積過程,使用戶能夠快速高效地執行其應用程序。該系統還提供高級功能,例如自動化過程控制單元,允許在過程中進行最少的操作員交互。該機器的設計目的是在廣泛的蝕刻和沈積應用中提供高性能的結果。它還被設計為與大量的加工氣體兼容，並且能夠使用各種晶圓尺寸。該工具包括基於計算機的觸摸屏用戶界面，以及用於遠程控制的局域網/廣域網界面。最後,該資產旨在為用戶提供最大的生產效率和最低限度的維護。