二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #293638696 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K是一種蝕刻器/asher,可提供不折不扣的準確性、可重復性和吞吐量,用於關鍵設備處理。這種蝕刻器是一種高度自動化、快速、多站的設備,專為量產半導體器件的卓越性能而設計。TEL FORMULA ALD High-K擁有專利的超窄各向異性濺射傳輸工藝和雙束高通量蝕刻器,可提供最高精度、重復性和頂級通量。該系統的分布式計算體系結構提供了靈活的刀具出廠環境,在響應速度、吞吐量和成本方面是平衡的。設備處理引擎的專有設計為用戶提供了高水平的控制，以及以最廣泛的流程組合定制流程配方的能力。該機還支持多種基材格式，包括200毫米和300毫米晶圓。借助ALD High-K,工程師可以自由地制作獨特的性能配置文件,而不會犧牲精度、吞吐量、可重復性或穩定性,這要歸功於該工具的大規模並行體系結構。ALD High-K兼容各種措施的環境控制慣例，整合各種晶圓類型和尺寸以獲得優化的處理體驗，並以多核處理架構為動力。ALD High-K的運輸和處理資產可以實現從表面制備到沈積的最深過程集成。自動化過程最大限度地減少了基板處理造成的延遲和中斷,同時顯著提高了吞吐量、準確性和可重復性。該模型的特殊平衡控制減少了受幹擾的基板的機會。利用ALD High-K,工程師可以以更高的精度和吞吐量處理幾納米厚或更厚的層。總之，TOKYO ELECTRON TEL/TOKYO ELECTRON FORMUM ALD High-K是一種精確度、重復性和通量無與倫比的蝕刻器/灰化器。此設備具有靈活性,能夠通過無與倫比的控制定制配方,從而確保卓越的設備處理和最高的生產效率。