二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #9149552 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K是一種蝕刻器/asher，設計用來蝕刻多種半導體材料，包括介電材料、金屬和合金。該機器是一種緊湊、獨立的蝕刻設備，提供晶片或批量蝕刻工藝的靈活性。它采用集成的石英晶體微平衡技術對晶片上的蝕刻工藝進行超精度測量，並對晶片材料進行光學端點檢測。TEL TELFORFORMULA ALD High-K提供了先進的工藝控制,具有廣泛的工藝參數,包括先進的功率控制、熱氧化速率、蝕刻速率、蝕刻氣體成分和氣體壓力控制。該系統還為多個進程提供了用戶友好的圖形用戶界面（GUI）和基於群集的高級群集控制。該裝置采用線性同軸射頻發生器，使其能夠以最小的橫向損傷將材料蝕刻到精確的深度。此功能提供了更高的一致性和更好的成像結果。該裝置還提供精確的薄膜沈積，以產生具有量身定制的電性能的層，並配有一套綜合工具，以方便光學光刻的實施。機器的加工氣源允許用戶控制蝕刻速率，並為選定的工藝選擇最適合的氣體。它還配備了射頻偏置控制單元，為蝕刻過程提供最優離子能量。TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K的工藝室也提供可調節的溫度和壓力控制，以確保工藝的一致性。此外,該機器還采用了獲得專利的熱力增長機器,以最大程度地減少短期顆粒產生,並確保高水平的過程一致性。TELFORMULA ALD High-K還提供了一個自動化的晶片裝卸工具，便於操作，一個基於計算機的軟件包用於過程模擬，以及一個模塊化設計，方便工具升級和可擴展性。該機器采用全面且易於使用的軟件包,設計為可與多種基板配合使用,是各種工業和消費電子應用的理想選擇。TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K提供高性能、靈活性和準確性,是高級蝕刻應用的理想選擇。