二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #9311152 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K是一款蝕刻器/asher，專為先進的包裝工藝、晶圓級制造、光刻而設計，在高長寬比基板上實現超高分辨率和優越的圖樣。該蝕刻器采用雙槍蝕刻設備，由先進的脈沖電子束槍提供動力，能夠更快地進行入射束掃描，更好地控制離子束相位比。它具有先進的垂直基板溫度控制，允許在廣泛的基板上精確蝕刻。蝕刻過程由惰性氣體氣氛輔助，為高k材料提供更高的蝕刻選擇性。此外，該蝕刻器具有獨特的電子束聚焦能力，可確保均勻的覆蓋範圍，為透晶圓通孔和觸點提供出色的陣列。它非常適合需要在大面積範圍內統一覆蓋的應用程序。此外,它在蝕刻表面上提供出色的邊緣平滑度和鈍化特性,而無需使用掩模或抗蝕劑。該蝕刻器采用渦輪泵系統，可快速疏散蝕刻室，從而增加吞吐量，減少停機時間。該裝置還具有先進的冷卻機，以確保蝕刻過程中基板的溫度均勻。冷卻工具還通過減少基板載荷來降低蝕刻所需的電功率。蝕刻器能夠加工多種材料，如金屬、氧化物、氮化物和聚合物。它具有先進的數據采集和處理資產,允許與數字庫輕松通信,並為用戶提供全面的蝕刻和退火過程控制。該模型與大多數主要CAD軟件包兼容,可在Windows和Linux操作系統上運行。綜上所述，TEL TELFORMULA ALD High-K是一種蝕刻器/Asher，設計用於高級包裝工藝的蝕刻和圖案制作、晶圓級的制造和光刻，以實現高長寬比基板的超高分辨率。配備先進的雙槍蝕刻設備、惰性氣體氣氛、冷卻系統、渦輪泵機。該計算機與CAD軟件包兼容,可在Windows和Linux操作系統上運行,因此非常適合各種應用程序。