二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal #293822430 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY退火是蝕刻器/灰燼的一種，專門用於矽片、石英和玻璃板等基板的化學退火處理。這種蝕刻器/asher是專門為這種處理而設計的，它產生了一種具有精確溫度控制的低溫退火工藝。TEL TELINDY退火配置為在與蝕刻器/asher集成的單個平臺上使用潤濕工藝對單個基板進行退火。TOKYO ELECTRON TELINDY Anneal是一款桌面式的蝕刻器/asher，尺寸為630mm寬，549mm深，794mm高。它具有高達350°C的外部控制溫度範圍，總重量為70kg。此外,此蝕刻器/asher還具有一個帶有8英寸液晶屏和膜開關面板的控制器,可用於自我診斷和處理狀態。這種蝕刻器/灰化器適用於多種潤濕過程，如化學氣相沈積、物理氣相沈積、電鍍和蝕刻。可用於對矽、石英、玻璃、陶瓷、氧化矽、鋁、不銹鋼等不同材料進行退火。它還有一個內置的氧化控制系統，使它能夠同時運行多個氧化過程，同時保持理想的退火環境。它還包括了廣泛的壓花、水性半導體加工和最高精度的蝕刻工藝，從而允許蝕刻和氧化工藝之間的重叠。這可以為用戶節省時間和節省成本,因為它通過減少每晶圓的總時間來支持更快的退火過程。此外，TELINDY退火利用傳感器技術進行集成，檢測溫度波動，提供準確的實時反饋，防止過熱。這樣可以確保保持最佳工作溫度和高質量退火效果。它還附有性能證書,並利用可根據特定需求進行調整的可自定義設置。總之，TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY退火是一種高效多用途的蝕刻器/灰化器，設計用於各種底物的精確退火處理。它具有廣泛的功能，包括溫度和濕度控制、氧化控制、壓花、蝕刻和水性半導體加工。它的傳感器技術和實時反饋還有助於保持最佳工作溫度以獲得最佳效果。