二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #293818325 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B
ID: 293818325
Vertical furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY B是一款高性能蝕刻工具,旨在提供卓越的蝕刻速率均勻性、高速度和出色的重復性。它非常適合廣泛的等離子體蝕刻和幹蝕刻應用。TEL TELINDY B利用TEL原始TELINDY處理的改良版,以更高的吞吐量產生優越的蝕刻速率均勻性。該工藝室利用TELINDY技術,確保整個腔室均勻的材料處理,以實現高效的蝕刻性能。它也保證了穩定的等離子體密度,無論處理時間和流量。TOKYO ELECTRON TELINDY B還包括一個高性能的等離子體來源進行蝕刻。它提供了更高的吞吐量和更快的處理時間,同時保持了較高的精度。高功率等離子體源允許在蝕刻復雜形狀時改進掩模對準,並提供高精度蝕刻。TELINDY B還具有先進的智能控制系統,用於精確的過程調整和可重復性。它能夠實時控制蝕刻工藝的參數,便於每個特定工藝的工藝優化和優化。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY B可用於濕蝕刻、等離子體蝕刻等高性能蝕刻應用。適合於蝕刻矽、氮化零、矽化鉑等材料,用於要求高精度蝕刻的高度復雜的應用。操作方便,直觀的控制系統允許簡化流程優化。通用的TEL TELINDY B還附帶可選組件,可以安裝這些組件以增強其蝕刻功能。模塊化斜頭組件提供了更好的遮罩對準精度,而頭加熱器則不需要預先蝕刻的遮罩,並且在復雜的層上提供均勻的蝕刻深度。此外,高級自動聚焦功能可確保光束在蝕刻過程中保持聚焦和穩定。TOKYO ELECTRON TELINDY B被設計用於多種行業,如半導體制造、電介質、光電子和MEMS/NEMS。它是蝕刻精密電子器件的理想選擇。其出色的可重復性、高速和高精度性能,可實現可靠且經濟高效的結果。
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