二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxide #9294226 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxide是一個先進的幹蝕刻平臺，適用於先進的ICs裝置制造。它結合了傳統的蝕刻和先進的氧化技術，為在各種材料上制造復雜結構提供精確的蝕刻解決方案。蝕刻器由兩個相鄰的工作室組成，兩個工作室均在真空下：下部工作室為蝕刻室，上部工作室為氧化室。蝕刻室包含兩個獨立的磁控管，用於輸送蝕刻氣體和產生高密度等離子體。該腔室因其超高密度，可用於蝕刻金屬、有機材料、電介質等材料。蝕刻速率準確，從樣品到樣品都可重復。氧化室利用原子層沈積（ALD）在任何選定區域上創建一層氧化物。沈積材料可以量身定制，以適合所需的保護水平以及特定的基材。ALD tophat功能還可確保蝕刻區域的均勻性。TEL TELINDY IRAD ALD Oxide 蝕刻器/Asher還具有晶圓取向、基板加熱和冷卻、蝕刻型材測量、工藝重復性等多種工藝。其軟件界面集成了配方管理功能，確保了與每個流程的安全性和兼容性。它是一種可靠、堅固的工具,對所有必要的參數進行了驚人的精確控制。TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxide蝕刻機/Asher中使用的ALD氧化蝕刻技術使其成為高精度蝕刻沈積的理想工具。它非常方便用戶，並提供先進的調平技術，以確保重復和準確的蝕刻和沈積。它可以用於金屬、有機材料、電介質等多種基材，其先進的功能集使其成為設備制造的絕佳工具。