二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Nitride #9219405 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Nitride （TELINDY）是一種為了沈積氧化物、氮化物或金屬金屬間薄膜而設計的蝕刻器/灰化器。它是一種通用的工具，可用於創建多種溫度較高的集成電路組件。TEL TELINDY氮化物設備提供自動化處理和可編程配方控制。它配有一整套特性和附件，包括一個專有爐、一個高真空系統、一個射頻或直流供電的等離子體源，以及最多兩個雙氣模源。功能豐富的單元可以在高度精確的控制下處理四分之一至半微米厚的薄膜層，生產出一貫高質量的薄膜。TELINDY機內的爐可加熱至1200 °C,最大功率為3.2kW。它有一個擴大的加熱空間和一個可調的磁感器以及一個集成的基板支架，以便更好的沈積效率。該工具還配備了能夠達到3x10-7 Torr基本壓力的高真空資產。等離子體源用於在薄膜沈積之前提供幹凈的堿性蝕刻。法拉第籠或靜電卡盤等裝置可用於控制等離子體活動。此型號由高達500瓦的射頻或高達1200瓦的直流供電。雙氣模源具有多種氣體類型，包括Ar、H2O2、O2、SiH4和CH4，同時進行柵極氧化物蝕刻和沈積。TELINDY設備可靠、精確、高效。其先進的物理氣相沈積（PVD）技術得到了優化，以確保一種高質量的氮化物薄膜用於切削邊緣的IC組件。該系統的特點使其成為集成電路行業中最受歡迎的蝕刻/灰度系統之一。