二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9194459 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide是一種高度通用的蝕刻和灰化設備,能夠在潮濕和幹燥的環境中運行。TEL TELINDY Oxide設計用於處理多種工藝應用，如氧化物蝕刻、氧化物灰化和平面化。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide system features a full automated unit for efficient teting and ashing process它的自動化特性，加上強大的熱等離子體源和高效的氣體輸送機，使得TELINDY氧化物工具非常適合各種生產情況和應用。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide Tetcher/asher提供完整的工藝靈活性,包括高蝕刻速率、低溫操作和長蝕刻時間。TEL TELINDY Oxide資產被編程為蝕刻,並使用各種流程參數,使用戶能夠根據自己的特定需求自定義流程條件。氧化物模型能夠將幹燥蝕刻溫度控制在1500°C以上，並能夠以各向異性、各向同性或超選擇性蝕刻速率產生高質量的結果。氧化物設備還結合了先進的等離子體源和氣體輸送系統，以創建高效的蝕刻工藝。TOKYO ELECTRON TELINDY氧化物裝置為蝕刻和灰化工藝提供了廣泛的支持技術。其特點是獲得專利的電動氣體掃描技術,用於控制蝕刻過程中的氣體分散.此外，它的等離子體源包含多個專門的墨盒，這些墨盒被設計用來產生高質量的蝕刻和灰化。最後，它的高速晶片傳輸組件提供快速晶片負載/卸載吞吐量以及熱水器調節溫度和精確的氣流控制，專門供暖制冷。TELINDY氧化機還具有先進的工藝監控工具,能夠實時監控蝕刻和灰化過程中的工藝參數。該資產具有逐個晶片的工藝控制功能,可改進工藝優化、提高產量和提高性能。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide模型在蝕刻和灰化過程中提供卓越的性能、可靠性和價值。具有成本效益和高效率的氧化物設備非常適合在薄膜蝕刻和灰化方面的準確性和一致性至關重要的應用。憑借先進的工藝控制功能,TEL TELINDY Oxide系統提供了當今業界最有效、最精確的蝕刻和灰化技術。