二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9196076 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide是一種蝕刻器/asher，用於從半導體基材和晶圓等材料表面蝕刻或灰化金屬氧化物層。它由主加工室和反應室兩個室組成。主加工室設有電子回旋共振（ECR）等離子體源。該源負責生成ECR驅動的等離子體，然後用於執行蝕刻和灰化過程。反應室有與ECR源結合使用的感應耦合等離子體（ICP）源的改良版。這種雙源配置實現了高度精確和高效的幹蝕刻過程。ECR和ICP源產生一個離子和自由基的RF等離子體，由引入加工室的氧氣、氙氣和其他氣體的混合物形成。這種等離子體隨後被用來從像半導體晶片這樣的基板表面蝕刻或粉碎金屬氧化物層。一旦消除了氧化層，就提高了層的質量和最終產品的質量。蝕刻/灰化的深度和速率是可調的，可以通過改變加工室內的壓力、功率和氣體混合物來微調。TEL TELINDY氧化物是一種高效可靠的蝕刻器/灰化器，能夠在納米和微觀水平上處理各種材料。適用於金屬、陶瓷和半導體材料。其底物缺陷密度低，通量高，表面質量優越。它可用於薄或操縱厚度在50至500 µm之間的晶片，對於制造3D堆疊內存設備特別有用。TOKYO ELECTRON TELINDY氧化物具有多種操作和工藝保護的安全特性。其中包括可監控操作狀態的突破點保護、鍵盤和警報系統、超壓保護以及用於監控處理室溫度的彩色熱成像攝像頭。簡而言之,TELINDY Oxide是一種高效、可靠且用途廣泛的蝕刻器/Asher,能夠處理納米和微觀級別的各種材料。它提供安全、精確和高效,並且與眾多的工藝配方和材料兼容。