二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9233211 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide是一種蝕刻器/asher，用於不同行業的多種蝕刻工藝。它是氣相蝕刻器和電化學灰化器的組合，使得它具有高度的通用性。TEL TELINDY氧化物能夠進行廣泛的調制和過程控制。它具有很高的效率，可以處理微電子工業中光刻劑的選擇性沈積和epi層的激光燒蝕等蝕刻過程。該設備能夠實現200 nm的蝕刻間隙,其蝕刻速率高達80 nm/min。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide有幾個獨特的特性，使得它非常適合在微電子學中使用。它具有低溫熱氧化系統，允許在蝕刻過程中進行精確的溫度控制。這種低溫能力降低了過熱的風險，從而提高了工藝穩定性。該裝置還具有統一的蝕刻深度控制能力。這會導致更高的蝕刻均勻性,這有助於最大程度地減少特征大小的變化。它還具有主動射頻清洗和濺射功能，這對於減少粒子生成至關重要。該裝置還能夠精確蝕刻高長寬比結構。這對於需要深層蝕刻的各種蝕刻工藝很重要，例如在生產微型病毒時。TELINDY氧化物是一種可靠高效的工具，可用於從消費電子到生物醫學設備的各種蝕刻應用。其氣相蝕刻和電化學灰化相結合，是精密蝕刻復雜結構的理想選擇。此外，其主動射頻清洗和濺射能力大大降低了產生顆粒的風險。